国内有大学开设微机电系统工程专业北京航空航天大学东莞理工学院西北工业大学等待，以下为具体大学名单，姓名未按顺序列出，我希望对您有所帮助。可调整的，另请参阅学校公布的最新名单。
| 序号 | 专业名称 | 学校名称 | 所在省份 |
| 1 | 微机电系统工程 | 北京航空航天大学 | 北京 |
| 2 | 微机电系统工程 | 东莞理工学院 | 广东 |
| 3 | 微机电系统工程 | 西北工业大学 | 陕西 |
微机电系统工程是一门、电气技术，特别是基于微机械的，融合多学科技术的新型交叉学科。本专业研究领域主要包括微传感器、微型加速度计、微型陀螺仪和微型惯性导航系统、微光学、显微测量技术等。